1012_EXPERIMENT OF MEMS FABRICATION PROCESS
Registration：FromNow ~ Any Time
Course Period：From2013-04-23 ~ Any Time
Course Intro
Course Plan
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2013-02 TA1-微機電實務
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MEMS introduction1
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MEMS introduction2
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MEMS introduction3
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Optics MEMS1
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Optics MEMS2
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ch01
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ch02
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ch03
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ch04
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ch05 [相容模式]
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ch05
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ch06
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ch07 [相容模式]
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ch1_導論 [相容模式]
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ch2_積體電路製程介紹 [相容模式]
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ch3_半導體基礎 [相容模式]
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ch4_晶圓製造 [相容模式]
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ch5_加熱製程 [相容模式]
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ch6_微影製程 [相容模式]
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ch7_電漿製程
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chapter 0 silicon material
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chapter 1 Lithography Chinese2013
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乙班實驗課程
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分組名單(final) (1)
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甲班實驗課程
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微機電製程實務實驗報告1--第二組 (1)
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微機電製程實務實驗報告1--第二組 (2)
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總成績
Co-Instructor(s)
潘正堂
潘正堂
Co-Instructor(s)
陳毅謙
陳毅謙
Co-Instructor(s)
洪琨皓
洪琨皓
Co-Instructor(s)
吳蕙均
吳蕙均
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